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干式真空泵阀门的概述与分类

文章出处:http://www.gszkbc.com/      发布时间:2018-12-21 14:12    点击数:-   【
  1、真空阀概述
  在真空系统中,用于改变气流方向,调节气流量以及切断或关闭管线的真空系统部件称为真空阀。
  真空阀在真空系统中的作用是:
干式真空泵
  (1)切换气体通道如图1所示,当阀门1和阀门4关闭而阀门2打开时,机械真空泵III将干式真空泵送到容器I,气流流过预真空吸入管线;当阀门2关闭时,阀门4打开时,机械泵可以分别对扩散泵进行抽真空;当阀1和阀4同时打开时,干式真空泵和机械泵可以同时工作,并且容器被抽空,此时气流流过扩散泵。可以看出,在该操作中阀的功能是切换气路并改变气流的流动路径。
  (2)控制气流大小并调节真空度。在图1中,调节阀1的阀盖打开角度可以调节流过管道的气体流量;关闭阀门2和阀门4,机械阀门可用于释放阀门。泵III的入口位于大气中;可以通过排放阀5调节容器中的真空度。
  (3)定量充电如图2所示,玻璃阀的柱塞体积上有一个小孔。当小孔向右转,高压气瓶连接时,小孔可以充满高压气体;当它转动时当左侧连接到真空容器时,高压气体的体积被放置在容器中,这用于量化电荷。