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干式真空泵的应用领域

文章出处:http://www.gszkbc.com/      发布时间:2019-08-06 09:14    点击数:-   【
        干式真空泵是科技含量十分高的高科技产品,关键运用于高纯粹的真空泵加工工艺全过程,真空值极高,可融入极端负荷,具备提取凝性、含细颗粒物汽体的工作能力,非常适合于清洁自然环境,且易做防腐蚀解决。
干式真空泵
  1.干式真空泵除半导体材料加工工艺外的一些造成颗粒的加工工艺,不期待颗粒渗入油泵中,而期待颗粒排出来泵外,则用必须形式的干试机械设备贝克真空泵能够 符合要求;
  2.干式真空泵化工厂、药业、食品类中的水蒸气蒸馏、干躁、除泡、包裝等,避免溶剂环境污染;
  3.干式真空泵作为通常无油渍清理超滤装置的前面泵,以避免油环境污染。
  4干式真空泵底压化学气相沉积中的多晶硅制取加工工艺,半导体材料刻蚀加工工艺。
  干试螺杆泵能抽除带有很多水蒸气及小量烟尘的汽体场所,極限真空泵更高,耗费输出功率更低,具备环保节能,免检修等优势。这是传统式贝克真空泵的升级换代商品,作为通常无油渍清理超滤装置的前面泵,以避免油环境污染。