爪型干式真空泵所用电机转速较高，一般在1500r/min或3000r/min左右。泵在运转时，高温气体在泵腔中产生高速的内流动，这对于可能会产生潜 在污染的场合是很理想的。当抽除腐浊和潮湿的蒸汽的时候，泵体内部形成的高温高速的内流动气流会阻止气体腐蚀泵体；而且泵的高温可以阻止在室温下易凝结的气体在泵内凝结。带有冷却装置的爪型干式真空泵可以安全地抽除易燃易爆和对温度敏感。
爪型干式真空泵可以做成单级，也可以两级。英国的爱德华公司生产了一种将罗茨转子型 转子相组合的一种干式真空泵。它利用罗茨真空泵抽气比较有效，在较高压强下爪型真空泵抽气比较有效的特点，将这两种泵各自优势匹配起来，组成干式真空泵，其结果性较优良。这种泵以较低的运行成本和维获用实现干式的预抽泵和前级泵。爪型干式真空泵特用于真空度达IPa,含水分和硬质腐蚀颗粒的体芯片、光学通汛设备及平板显示器等高业的苛刻工艺流程。在众多的干 式真空泵中干式真空泵是备受半导体、光学器件等高科靑睐的一种容积式干式真空泵。
爪型干式真空泵也作为液环泵，水喷射泵替代产品成功应用于VD/VOD中，_得了良好的经济效益和环保效益：不仅可以超过90%的操作成本，而且大大减少了产生粉尘的排放量。除此之外，爪型干式真空泵广泛用于化工、核工业、薄膜、仪器、医药、食品等领域。
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