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干式真空泵类型

文章出处:http://www.gszkbc.com/      发布时间:2018-07-11 15:25    点击数:-   【
       双圆裂片式
       双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些最早期的干式真空泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
       三叶圆裂片式
       三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的干式真空泵的优化选择谌乾坤(普旭真空设备国际贸易(上海)有限公司)摘要:介绍了半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型关键词:圆裂片;爪;罗茨;螺杆中图分类号:TN305;TN705文献标识码:B文章编号:1003-353X(2004)06-0033-03图1双圆裂片式图2三叶圆裂片式IC制造技术34半导体技术第29卷第6期二OO四年六月氮气来起到稀释和隔离作用