只有在螺杆真空泵的外表以及内部干净的条件下才能确保它的使用效果，除了部分诸如锈迹之类的杂质之外，一般的像灰尘这样的杂质，清理方便，不需要耗费大工程去清洁它，只需吹扫即可，如何吹扫呢？
1、清洗吹扫。
清洗吹扫用于抽除腐蚀、有毒或是粘稠物。停泵前，关闭真空泵的进气口阀门，在进气口充入氮气或水蒸气后运转20到30分钟，吹扫腔体内螺杆，清洗腔体内残留的废气或表面粘附的粘稠物质。
2、冷却吹扫。
冷却吹扫用于螺杆转子及螺杆真空泵内部腔体的冷却。进气口吸入的工艺气体随着螺杆转子的转动被压缩并送到排气口，压缩过程中气体温度升高，目的是为了保护真空泵不会因为过热而被卡住。空气会被用来作为冷却吹扫介质，但在特殊情况下则用氮气或冷却后的工艺气体作为吹扫介质。在排气口附近安装有一个过滤器来吸入空气以实现冷却吹扫。
3、密封吹扫。
密封吹扫是用氮气加压于螺杆真空泵的前端盖内，使得工艺气体或液体不能进入装有齿轮及轴承的油箱。两个氮气接入口，位于前端盖的顶端。氮气吹扫的压力≤0.5bar。
螺杆真空泵工作效率高，并且里面的干净程度会对泵的运行等产生影响，通过吹扫的方式清洁泵，不仅清洁效率高，而且减少灰尘堆积。
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