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为什么螺杆真空泵要用氮气

文章出处:http://www.gszkbc.com/      发布时间:2021-12-10 13:27    点击数:-   【
       现在的螺杆真空泵基本上采用的填充方式都是以氮气。使用氮气的好处在于对泵进行吹扫时,可以延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀,从而起到一个良好的保护作用。下面为大家总结螺杆真空泵在使用氮气时的优势。
螺杆真空泵
       一是有腐蚀性气体的泵将使用氮气,氮气吹净泵,延缓泵的腐蚀性气体腐蚀。
       二,气密,稀释制程气体。减轻腐蚀及制程附着。
       三,螺杆真空泵里冲入氮气是为了在真空泵内壁形成微弱保护气膜,氮气压力不宜过大,也不宜过小,过大会影响抽真空效果和增加能耗。
       四,真空镀膜工艺中用到的一些气体对螺杆真空泵有腐蚀作用,所以会采用这种泵。
       五,冲多少单位的氮气后就能镀膜出他们需要的颜色。有些颜色用乙炔。在实际运用中,多数使用氩气。
       六,氮气的吸附热小,吸附于物体表面的时间短。在螺杆真空泵中,当氮气吸附在器壁面时,它很容易被抽除。
       七,氮气在没有一定的温度、压力或者是催化剂等辅助条件下,很难与外界发生反应。因此在泵系统清洗过程中,利用氮气吹扫,更为安全可靠。
       其特点是在真空系统清洁过程中使用氮气净化。在真空涂层中,用干氮清洗真空系统后,氮分子首先吸附在真空系统的器壁上。由于器壁表面的吸附位是一定的,被氮分子沾满后,其他的分子如水分子等就会减少,因而真空系统的整个抽气时间就会大大减少。