螺杆真空泵的工作原理与一般泵容积相同，由定子、转子、转子、缸体、电机等主要部件组成。当转子高速旋转时，转子槽内的四个径向滑动转子将泵室分成四个工作室。由于离心力的存在，转子紧贴在气缸壁上，定子的进口和出口被分开，定子被旋转又旋转，气体从排气口进出，以达到排气的目的。螺杆真空泵排出的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许污染，可以选择螺杆真空泵，或者到油蒸汽外面。
由于真空泵可以选择性地抽空气，有时一台泵不能满足抽真空要求，需要组合补充几台泵才能满足抽真空要求。真空泵对氢的抽速很高，但不能抽氦，而三极管溅射离子泵对氩有一定的抽速。当两个泵结合时，真空装置将获得更好的真空度。
另外，一些螺杆真空泵是无法在大气压下应用的，需要预真空；部分泵的出口压力比大气压低，所以需要前置泵，所以都需要组合。
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