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干式真空泵的原理、特征及其应用

文章出处:http://www.gszkbc.com/      发布时间:2018-07-02 15:48    点击数:-   【
        1 干式真空泵的定义干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。
        2 干式真空泵的分类现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分,只有两类,即:①容积式的无油真空泵,例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。
        3 这种干式泵的极限压力一般为0.1~10Pa,抽速为0.01~0.04m3/s。②动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,可从大气压抽到10-2Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串1第3期2000年6月真空Vacuum——VacuumTechnologyandApplication联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa,抽速为0.02~0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。这些干式泵和油封式机械泵相比,达到同样的极限压力,其残余气体成分则全然不同,经分析结果表明,油封泵的残余气体,CnHm气体(碳氢化合物气体)为其主要成分,而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。